半导体行业
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阀门在半导体行业的实际应用

阀门在半导体行业的实际应用
  • 流体系统对阀门有着极为严苛的要求,阀门也是半导体行业高纯流体系统中核心的系统元件。
  • 1、从实际应用来看,隔离阀采用最多的主要为角阀和闸阀。
  • 角阀的气体通路通常呈直角,主要可用于真空系统中的排气管路和抽气系统等的连接,如用于主泵和前级泵之间(即前级管路)或腔体和前级泵之间(即粗抽或预真空管路)。角阀常作为隔离阀,尤其适用于严苛的环境下,并具有出色的可靠性,也可具备控制作用。
  • 闸阀的启闭件为闸板,闸板运动方向与介质流动方向垂直,通过闸板的升降可以起到隔绝/接通作用,通常只作全开/全闭状态,是隔离阀的理想选择,而较少用作控制作用。闸阀可用于腔体和真空泵之间。
  • 2、控制阀用在真空腔体和分子泵之间,起到调节流量和压力的作用。控制阀采用最 多的主要为摆阀(钟摆阀),而蝶阀等也可以起到控制作用。 摆阀的启闭件通过如钟摆般的旋转运动来实现隔离和控制作用,具有设计紧凑、 振动小、启闭平稳、能有效避免产生颗粒的特点,被广泛用作控制阀。